今日（10月22日），中微半导体设备（上海）股份有限公司（中微）临港总部和研发基地项目开工仪式在临港新片区项目现场举行。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“中微临港总部和研发基地项目建成后，将成为公司临港总部和研发中心，集办公、研发、试验、服务等功能于一体，从硬件设施层面满足公司集成电路设备、泛半导体设备、关键零部件等的研发需求。聚焦刻蚀设备、薄膜沉积设备等优势产品，加快更多集成电路设备的开发，进一步拓展到泛半导体及微观器件、工业互联网平台及信息化服务等领域，并探索高科技在国计民生中的广泛应用。”
中微临港总部和研发基地项目位于临港新片区滴水湖畔，总占地面积约25.05亩，规划总建筑面积约10.5万平方米，其中地上建筑面积约7.5万平方米，地下建筑面积约3万平方米。