微光显微镜

Reltron ICS1000PEM微光显微镜可用于侦测和定位非常微弱的发光（可见光及近红外光），由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。可侦测对应故障种类涵盖ESD,LATCH-UP, I/O leakage, junction Defect, Hot Electrons, Oxide Current Leakage等造成的异常。

主要技术指标：

铟砷化镓(InGaAs)材质的影像传感器

·       传感器分辨率：320X256像素，逐行扫描

·       信噪比为：69DB

·       像素位深：14bits

·       影像传感器冷却装置：三阶段的珀尔贴热电制冷至零下50摄氏度

·       可接受光波范围：900nm至1700nm，确保1700nm的有效灵敏度

硅材质百万像素影像传感器

·       传感器分辨率1360x1024像素（130万像素），逐行扫描

·       信噪比：大于60DB

·       像素位深：12bits

·       光谱灵敏度：355nm 到1200nm（增强红外线灵敏度）

·       配备FMI（Fluorescent micro thermal imaging）荧光微弱成像技术，其温度变化分辨率达到0.001摄氏度。 能够进行Shorthot侦测

显微光学系统

·       4组红外物镜为：0.8倍、5倍、20倍和50倍，目镜为10倍22视场

·       显微镜光源带有5波段设计，能够发出UV光（385nm），可见光（红、绿、蓝），近红外光（1200nm）。

系统附属平台

·       12英寸（300mm）载物平台，具有样品真空吸附功能

·       6个0.35微米精度（200牙/英寸）真空吸附探针座，移动行程x-y-z为12毫米

·       探针最小电流精度100FA，最大电流5安培

·       配备气垫防震桌，空气压力60psi~80psi