探针台

仪器编号 2009034 规格型号 PERFICTPL-S12
生产制造商 展芯科技 产地国别 中国
收费标准 260元/小时 启用日期 14/09/2010
设备存放地址 厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层
实验室管理员 周琦 预约电话 0592-2529611
对外共享规定 请提前预约,最长预约使用30天
仪器状态 正常 预约仪器 请先登录

PERFICTPL-S12探针台配备了12英寸载物台,可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌,具有极高的测试稳定性,同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能,温度可达到300摄氏度,具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA,低电容测试科达0.1pF。

 

主要技术指标:

12寸载物台,载物台和平台平整度<=5micron,具备激光修正能力

● 载物台步进精度:0.1微米,往返精度:0.5um,PLIC软件控制

● 载物台可以360度旋转,带有细微调节机构,精度0.1度,带有锁死功能

● 平台可以电动升降25毫米,升降精度1um,采用PLIC软件控制

● 长工作距离显微镜

2X:工作距离34.6mm

10X:工作距离34mm

20X:工作距离31mm

NUV物镜:50X(可透过355nm紫外光)

NUV物镜:100X(可透过355nm紫外光)

● 光学倍率:40X-2000X

● 四个电控探针座,步进精度0.2um,往返精度0.5um,PLIC软件控制

● 配合屏蔽箱漏电流精度可达100FA,低电容测试0.1PF

12寸加热台卡盘,最高温度300摄氏度,精度为0.1摄氏度,带有水冷装置

YAG激光器

NUV:355nm,可用于Polymide ,Kapton,Silicon,Nitride,SOG,SiliconDioxide

GREEN:532nm,可用于Copper,Gold,PolySilicon,Aluminum,SiliconDioxide


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