OM光学显微镜（OM-2）
| 仪器编号 | 2009031 | 规格型号 | OLYMPUSOM-2 |
|---|---|---|---|
| 生产制造商 | 奥林巴斯 | 产地国别 | 美国 |
| 收费标准 | 100元/10分钟 | 启用日期 | 29/09/2010 |
| 设备存放地址 | 厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层 | ||
| 实验室管理员 | 周琦 | 预约电话 | 0592-2529611 |
| 对外共享规定 | 请提前预约，最长预约使用30天 | ||
| 仪器状态 | 正常 | 预约仪器 | 请先登录 |
OLYMPUSOM-2光学显微镜配备了5种（5X，10X，20X，50X，100X）长工作距离物镜，光学解析可达到0.13UM。配备了明场暗场和微分干涉功能。采用580万像素科学级CCD，可达到2776×2074的图像分辨率。
主要技术指标：
● 光学倍率可以解析0.13UM工艺以上的模拟电路部分
● 5X物镜，数值孔径0.15，工作距离20.0mm
● 10X物镜，数值孔径0.30，工作距离11.0mm
● 20X物镜，数值孔径0.45，工作距离3.1mm
● 50X物镜，数值孔径0.80，工作距离1.0mm
● 100X物镜，数值孔径0.90，工作距离1.0mm
● 带明场暗场功能
● 配置微分干涉（DIC）
● 5孔鼻轮
● 12英寸载物台，能够放置并检测12英寸晶圆
● X-Y行程：150mm，步进精度0.04um，往返精度1um
● 图像采集科学级CCD，1/2英寸，580万像素，解析度2776×2074，1392×040，640×480
● 预览速度：每秒15帧