微光显微镜

仪器编号 2009019 规格型号 reltronics-1000pem
生产制造商 reltron 产地国别 美国
收费标准 100元/10分钟 启用日期 24/06/2009
设备存放地址 厦门湖里区港中路1694号万翔商务中心2号楼南楼3层
实验室管理员 周琦 预约电话 0592-2529611
对外共享规定 请提前预约,最长预约使用30天
仪器状态 正常 预约仪器 请先登录

Reltron ICS1000PEM微光显微镜可用于侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。可侦测对应故障种类涵盖ESD,LATCH-UP, I/O leakage, junction Defect, Hot Electrons, Oxide Current Leakage等造成的异常。

 

主要技术指标:

铟砷化镓(InGaAs)材质的影像传感器

·       传感器分辨率:320X256像素,逐行扫描

·       信噪比为:69DB

·       像素位深:14bits

·       影像传感器冷却装置:三阶段的珀尔贴热电制冷至零下50摄氏度

·       可接受光波范围:900nm至1700nm,确保1700nm的有效灵敏度

硅材质百万像素影像传感器

·       传感器分辨率1360x1024像素(130万像素),逐行扫描

·       信噪比:大于60DB

·       像素位深:12bits

·       光谱灵敏度:355nm 到1200nm(增强红外线灵敏度)

·       配备FMI(Fluorescent micro thermal imaging)荧光微弱成像技术,其温度变化分辨率达到0.001摄氏度。 能够进行Shorthot侦测

显微光学系统

·       4组红外物镜为:0.8倍、5倍、20倍和50倍,目镜为10倍22视场

·       显微镜光源带有5波段设计,能够发出UV光(385nm),可见光(红、绿、蓝),近红外光(1200nm)。

系统附属平台

·       12英寸(300mm)载物平台,具有样品真空吸附功能

·       6个0.35微米精度(200牙/英寸)真空吸附探针座,移动行程x-y-z为12毫米

·       探针最小电流精度100FA,最大电流5安培

·       配备气垫防震桌,空气压力60psi~80psi



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